어떤 지식과 역량이 필요한가요?

Question

dry strip과 dry cleaning 장비 설치 및 cs 엔지니어라면 어떤 전공지식과 어떤 역량이 필요한가요?

멘토 백이당 · Answer

Dry Strip과 Dry Cleaning 반도체 장비의 설치 및 CS(Customer Service) 엔지니어라면 기계공학, 전기·전자공학, 진공공학, 플라즈마 공학에 대한 이해가 중요합니다.
특히 단순히 장비를 설치하고 고장을 수리하는 수준을 넘어, 공정 원리를 이해하고 장비의 이상 원인을 분석해 정상적인 공정 상태로 복구하는 역량이 핵심입니다.

플라즈마 공학 (가장 중요)RF Power와 Plasma 발생 원리
이온화, 라디칼, 전자 및 이온의 역할,플라즈마 밀도와 균일도
Plasma Ashing 원리,O₂, CF₄, N₂ 등 공정가스의 역할

진공공학 진공펌프 종류 및 작동 원리, Dry Pump, Turbo Molecular Pump, 압력(Pressure), 진공도, 배기속도
Leak Test 및 진공 유지,MFC를 통한 가스 유량 제어가  필요합니다.

멘토 달남 · Answer

안녕하세요. Dry Strip과 Dry Cleaning 장비 설치 및 CS 엔지니어는 
반도체 팹 내에서 가스와 플라즈마를 활용해 감광액과 잔여물을 제거하는 공정 설비를 안정적으로 셋업하고 유지보수하는 역할입니다.
해서 이를 수행하기 위해서는 우선 플라즈마의 물리,화학적 원리와 반도체 단위 공정에 대한 이해가 필수이고, 
그리고 진공 공학이나 유체 관련 지식, 그리고 플라즈마 생성을 위한 RF 시스템 및 전기,제어 회로도 해석 능력등이 중요합니다.
여기에 더해, 실제 현장에서는 전기 회로도와 도면을 분석해 신속하게 원인을 추적하는 트러블슈팅 능력과, 
챔버 레벨링 및 로봇 캘리브레이션등 정밀 하드웨어 셋업 기술, 그리고 철저한 안전 규정 준수 습관등도 필요합니다.
또한, 24시간 운영되는 팹 특성 상 고객사 엔지니어와의 원활한 커뮤니케이션 능력이라던가, 
장비 다운등 긴급 긴박한 상황에서도 침착하게 대응할 수 있는 대처 능력등도 중요하겠습니다.

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